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12吋晶圓BUMP烘烤系統全自動高溫爐管
Truefur-300 是一款針對12吋晶圓表面涂覆PI膠后的固化烘烤設備 WLP,PLP -> BUMP工藝專用設備
- 產品信息
一、產品用途:
集成電路圓片膠, BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別;集成電路圓片快速退火
二、產品特點:
1.一體式人機操作系統,連續式自動化生產,工作效率高,節約人工成本、電能及工藝時間。
2.FEC加熱,升溫迅速且均勻度好
3.不銹鋼材質,表面經物理及化學拋光處理,確保潔凈度。
4.自帶自清潔功能,可通氫氣清洗內腔
三、控制系統
1.人機界面采用觸摸屏方式
2.控制器采用嵌入式控制器
3.超溫保護為檢測器件
4.具有氧含量檢測功能
5.運動控制為伺服/步進控制單元
6.傳輸為專業晶元傳輸機器人
7.軟件具有功能:溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數據記錄,圖表顯示.
設備名稱 |
12吋晶圓BUMP烘烤系統全自動高溫爐管爐 |
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處理產品 |
12inch 晶圓 |
處理量 |
50PCS/管,共100PCS |
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加熱器 |
溫度傳感器 |
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上料口 |
2個 |
機械手 |
1個/2個 |
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溫度范圍 |
150°C-400°C |
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升溫速率 |
>30℃/min |
降溫速率 |
>5℃/min |
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加熱功率 |
36kW(單爐) |
加熱溫區 |
2個 |
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人機界面 |
15寸觸摸屏 | 門聯鎖 | 保證工作區安全 | ||
溫度控制方式 |
SSR |
程序控制 |
PLC控制 |
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爐膛材料 |
石英玻璃 |
保溫材料 |
陶瓷纖維 |
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加熱區 |
風門加熱區風套 | ||||
排氣系統 |
自動排氣 |
技術細節變動之處,恕不另行通知,具體設備參數以咨詢結果為準。