全自動高溫爐管_合肥真萍電子科技有限公司

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黃光區設備

12吋晶圓BUMP烘烤系統全自動高溫爐管

Truefur-300 是一款針對12吋晶圓表面涂覆PI膠后的固化烘烤設備 WLP,PLP -> BUMP工藝專用設備

產品信息

一、產品用途：
集成電路圓片膠， BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別；集成電路圓片快速退火

二、產品特點：

1.一體式人機操作系統，連續式自動化生產，工作效率高，節約人工成本、電能及工藝時間。

2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好

3.不銹鋼材質，表面經物理及化學拋光處理，確保潔凈度。

4.自帶自清潔功能，可通氫氣清洗內腔

三、控制系統
1.人機界面采用觸摸屏方式
2.控制器采用嵌入式控制器
3.超溫保護為檢測器件

4.具有氧含量檢測功能
5.運動控制為伺服/步進控制單元
6.傳輸為專業晶元傳輸機器人
7.軟件具有功能:溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數據記錄,圖表顯示.

設備名稱		12吋晶圓BUMP烘烤系統全自動高溫爐管爐
處理產品		12inch 晶圓	處理量	50PCS/管，共100PCS
加熱器		溫度傳感器
上料口		2個	機械手	1個/2個
溫度范圍		150°C-400°C
升溫速率		>30℃/min	降溫速率	>5℃/min
加熱功率		36kW(單爐)	加熱溫區	2個
人機界面		15寸觸摸屏	門聯鎖	保證工作區安全
溫度控制方式		SSR	程序控制	PLC控制
爐膛材料		石英玻璃	保溫材料	陶瓷纖維
加熱區	風門加熱區風套
排氣系統	自動排氣

技術細節變動之處，恕不另行通知，具體設備參數以咨詢結果為準。

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