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PI膠、BCB膠高溫固化烤箱應該如何選擇
發布時間:2017-09-02 點擊:載入中...
PI膠、BCB膠高溫固化烤箱應滿足以下工藝要求:
常用PI/BCB樹脂的固化方法,具體步驟如下:
1:在半導體芯片表面涂覆一層粘附劑;
2:通過旋轉方式在半導體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態PI/BCB樹脂,接著將涂覆好BCB樹脂的半導體芯片放入固化爐中,并通入氮氣保護;
3:加熱固化爐,使涂覆BCB樹脂的半導體芯片達到一第一溫度,穩定一段時間,使BCB樹脂中的溶劑分布均勻;
4:再將加熱固化爐升高到一第二溫度,穩定一段時間,使BCB樹脂中的溶劑充分揮發;
5:再將加熱固化爐升高至一第三溫度,穩定一段時間,在半導體芯片表面形成低介電常數的樹脂薄膜;
6:將加熱固化爐的溫度降至一預定溫度,關氮氣,取出樣品,完成固化工藝。
PI膠、BCB膠高溫固化烤箱應具備的功能:
根據以上要求,固化烤箱必須是熱風循環烘箱,因為熱風循環烘箱的溫度均勻性較好,均勻性較差的烤箱會導致膠水固化后產生起泡,支架襯底烘烤后翹曲不平等問題,常用的固化溫度最高為375度,因此,選購熱風循環烘箱的時候要注意溫度范圍選擇??鞠涞淖唢L方式最好采用左右水平風結構的烘箱,這種結構的烤箱受放置產品的數量影響較小。
PI膠、BCB膠高溫固化烤箱應具有加熱計時功能,因為工藝生產中對烘烤時間是有要求的,烘烤時間過短,膠水無法完全固化,烘烤時間過久,膠水硬化,開裂,脫膠等。另外,最好溫控器可實現斜率升溫,這樣的好處可以通過調整升溫速度來解決不同產品的膠水固化要求。
PI膠、BCB膠高溫固化烤箱應配有水冷功能,因為工藝生產中對降溫速率有要求的,降溫速率太慢會引起PI/BCB膠開裂,脫膠等。另外,最好溫控器可實現斜率降溫,這樣的好處可以通過調整升溫速度來解決不同產品的膠水固化要求。
固化烤箱選購注意烤箱潔凈度的要求。熱風循環烘箱一般采用不銹鋼內膽,最好選用內部滿焊產品,機臺震動較小,在膠水固化工藝中,不會因為機臺震動導致膠水或者產品產生震動,表面不平。另外,封裝過程一般是在無塵車間環境中,烤箱自身不能產生灰塵,潔凈度要求較高的工藝或者車間中,最好采用class100級潔凈烘箱。
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